クリーン環境下の昇降装置で低発塵と省スペース自動化を同時に実現
半導体露光装置の扉の開閉を自動化させるにあたり、装置レイアウトを変更せずに導入できる省スペースな電動アクチュエータの選定が求められていました。
また、クリーンルーム内の設備であるため低発塵性も重要でした。
そこで、低床・コンパクトな設計のジップチェーンアクチュエータを採用。クリーングリスを採用することで発塵リスクを抑制しつつ、既存設備へのスムーズな組み込みを実現しました。
| Problema | industria | Objetivo | Grupo de productos |
|---|---|---|---|
| 省スペース | LCD, semiconductores, equipos electrónicos, comunicaciones | Moverse linealmente | Actuadores lineales |
Problema
既存の装置レイアウトを大きく変更せずにそのまま装置に組み込める、低床で省スペース設計のコンパクトな電動アクチュエータの選定が求められていました。
さらに、半導体露光装置が設置されているクリーン環境下では、異物混入が製品不良や歩留まり低下につながるため、発塵リスクを最小限に抑えられることが必要でした。
Productos adoptados
actuador de cadena Zip
La cadena entrelazada (Zip Chain) es una cadena desarrollada exclusivamente por nuestra empresa en la que dos cadenas se entrelazan como una cremallera para formar una barra resistente que se puede "empujar y tirar".
actuador de cadena Zip es un actuador lineal completamente nuevo que utiliza este mecanismo.
Zip Chain se puede guardar en un estuche compacto, logrando un ahorro de espacio enorme en comparación con actuador lineal convencionales.
Es compatible con el funcionamiento a alta velocidad y alta frecuencia, y consume mucha menos energía que los cilindros hidráulicos o neumáticos.
Es posible detenerse en múltiples puntos con alta precisión y la dirección de instalación es libre.
Beneficios de adoptar el producto
ジップチェーンアクチュエータの採用で、装置レイアウトを変更することなく自動化を実現。少ない設計工数でスピーディな自動化が実現できました。
1000㎜/sの高速運転により、生産性の向上・現場作業の効率化にも貢献しました。
また、クリーングリスの採用により、発塵リスクも大幅に低減。
クリーン環境下でも安定した動作が可能となり、製品品質の維持につながりました。
Tsubaki hará todo lo posible para ayudarle a resolver cualquier problema que pueda tener.
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