Reducción de la generación de polvo y mejora de la seguridad en las secciones de recorrido de robots colaborativos en salas blancas
Especificaciones FLATVEYOR ZP
Descripción general
Para reducir la generación de polvo de Portacables (CABLEVEYOR) y cables/tubos de los modelos de uso general, un problema que ha sido común en los equipos de fabricación de obleas, se ha adoptado la especificación FLATVEYOR ZP, que almacena los cables/tubos en un tubo de PVC que se puede abrir. Esto no solo soluciona el problema de la generación de polvo de los modelos anteriores, sino que también mejora el entorno de fabricación y el rendimiento del producto.
Problema
En la fabricación de semiconductores, para mejorar el rendimiento del producto, es importante suprimir la generación de polvo de las piezas deslizantes en los equipos de fabricación dentro de salas blancas.
Con Portacables (CABLEVEYOR) convencionales de uso general utilizados en los equipos existentes, se daban casos en los que la contaminación de productos como las obleas debido al polvo generado por Portacables (CABLEVEYOR) o por los cables y tubos en su interior constituía un problema.
Productos adoptados
Especificaciones Portacables (CABLEVEYOR) FLATVEYOR ZP
Este es un sistema de cable plano independiente con el exclusivo mecanismo de apertura y cierre de Tsubaki que utiliza tubos de PVC que son flexibles, duraderos y tienen buenas propiedades de deslizamiento.
Lograr un nivel de limpieza ISO Clase 1 contribuye a mejorar el rendimiento.
Este producto no contiene sustancias peligrosas que superen los límites establecidos por la Directiva europea RoHS II. (Exceptuando los cables y tubos que contiene).
Beneficios de adoptar el producto
A diferencia de Portacables (CABLEVEYOR) de uso general, consideramos usar CLEANVEYOR, que permite almacenar cables y tubos en una lámina con forma de cápsula. Sin embargo, debido a la posibilidad de que el contenido de los cables y tubos cambie, decidimos usar las especificaciones FLATVEYOR ZP, que permiten el recableado in situ.
Esto reduce la generación de polvo, causante de la contaminación en la sala limpia, y mejora el rendimiento del producto. Además, gracias a que FLATVEYOR ZP cuenta con un cuerpo de tubo de PVC flexible, se reduce el riesgo de contacto con los operarios que trabajan cerca de la parte móvil del robot colaborativo, lo que se traduce en una mejora general del entorno de fabricación.
Tsubaki hará todo lo posible para ayudarle a resolver cualquier problema que pueda tener.
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