Para la industria de semiconductores
Productos Tsubaki
Podemos proponer productos para equipos de fabricación de semiconductores que requieren baja generación de polvo y alta precisión.
Transporte
Transporte robótico
Robot de transferencia de obleas
Propósito del reclutamiento
Conducir brazos robóticos y ejecutar robots
Se requiere alta precisión en la posición de parada, alta velocidad y baja generación de polvo durante el viaje.
Portacables (CABLEVEYOR)
Ofrecemos productos con baja producción de polvo adaptados a su entorno de uso.
Especificaciones del MW serie TKP
Este Portacables (CABLEVEYOR) de alto rendimiento utiliza un "material especial altamente deslizable" para mejorar la protección de cables y tubos y reducir la generación de polvo.
POINT
Baja generación de polvo, muy versátil.
Serie TKR
El exclusivo mecanismo de doblado de Tsubaki logra baja generación de polvo, bajo ruido y baja vibración.
POINT
- Limpieza ISO Clase 3 (resultados de pruebas internas)
- Tranquilo
Acoplamiento de Power-Lock
Especificaciones del acero inoxidable
Especificaciones del niquelado químico
Una amplia gama y una calidad confiable satisfacen las necesidades de resistencia ambiental.
POINT
Limpio, resistente a la corrosión y muy versátil.
Correas Síncronas
Correa Ultra PX Tipo HC
Correa Ultra PX Tipo HY
Correa de transmisión de alta precisión y resistencia.
Esta correa de transmisión está diseñada para una mayor precisión y resistencia, lo que contribuye a un equipo más compacto. Minimiza la dispersión de residuos de desgaste, garantizando un funcionamiento limpio. También está disponible Tipo HY que ofrece mayor resistencia y rigidez.
POINT
Alta precisión, alta velocidad
Polea
poleas dentadas de bloqueo chapada
Esta poleas dentadas para correas incorpora un sistema de fijación sin chaveta. El tratamiento superficial de cada pieza mejora la resistencia a la corrosión y permite una fijación en seco sin necesidad de lubricación.
POINT
Juego cero en la fijación, fácil de colocar
Sistema de transferencia limpia
Sistema de transporte de techo
AUTRAN VANGUARD
Consiga un transporte limpio en el espacio del techo
Transporte de cargas pesadas (máx. 200 kg), cero generación de polvo del colector de corriente (alimentación sin contacto), transporte directo al equipo de fabricación. Equipado con una unidad de limpieza, mantiene un alto nivel de limpieza de la pieza de trabajo.
POINT
Cero generación de polvo desde el colector de corriente, transporte de carga pesada (hasta 200 kg)
Levantamiento
TRANSPORTE FOUP POR AMR
El uso actuador de cadena Zip en los mecanismos de elevación de los AGV y AMR contribuye a bajar el piso.
POINT
Ahorro de espacio, piso bajo
Serie Zip Chain
Actuador de cadena Zip
Un actuador lineal versátil que se puede instalar incluso en espacios pequeños.
Ahorra espacio, admite operaciones de alta velocidad y alta frecuencia, y consume mucha menos energía que los cilindros hidráulicos o neumáticos. Ofrece una parada multipunto de alta precisión y puede instalarse en cualquier dirección.
Elevador AMR
Elevador hidráulico, tipo alambre
La precisión de frenado es baja, lo que provoca un escalón entre el elevador y el suelo.
Tipo de tornillo de poste
Difícil lograr longitud de recorrido largo
Zip Master tiene la solución!
POINT
- Alta precisión: minimiza los pasos durante la transferencia
- Alta velocidad: reduce el tiempo de procesamiento
- Elevación alta: hasta 4 m
Serie Zip Chain
Zip Master
Un elevador voladizo que se puede subir y bajar a alta velocidad simplemente colocándolo en Zip Chain
Tiene un diseño de "tipo conectar y funcionar" que se puede utilizar simplemente colocándolo, y su alta velocidad, alta frecuencia y alta elevación lo hacen adecuado para una variedad de usos.
Mecanismo de apertura y cierre de la tapa
Lift Master se utiliza para subir y bajar la tapa del equipo. También podemos proponer una estructura que permita girar manualmente el brazo que sujeta la tapa.
POINT
Fácil de instalar y operar, limpio y sin aceite.
Elevador voladizo
Lift Master
Elevador en voladizo que utiliza tornillos de bolas/tornillos trapezoidales para un posicionamiento multietapa de alta precisión
El diseño "tipo conectar y funcionar" permite una distribución flexible de la línea de producción y es fácil de manejar. La electrificación mejora el entorno de trabajo y contribuye al ahorro energético.
Compatible con salas blancas
Podemos reducir la generación de polvo de cada pieza.
- Tratamiento especial de superficie (guía de husillo de bolas)
- cubierta de acero inoxidable
- Aplicación de grasa limpia (husillo de bolas/guía)
- Pintura horneada
Transporte circular vertical de aros
Se utilizan Cadena Lambda en la sección de elevación del dispositivo de transporte entre los niveles de los aros. Al no requerirse suministro de aceite externo, se reduce el mantenimiento del equipo y se contribuye a un entorno limpio al suprimir las salpicaduras de aceite.
POINT
- Trabajo de mantenimiento reducido
- Mantener un medio ambiente limpio
Cadena de transmisión sin lubricación
Cadena Lambda
Cadena sin lubricación que utiliza casquillo especial impregnado en aceite
Utiliza casquillo especial impregnado en aceite con propiedades autolubricantes, lo que permite un uso prolongado sin lubricación.
Rotación/Transmisión
Equipo de pulido de obleas
Existen numerosos ejemplos del uso de Troi Drive con mínimas fluctuaciones de rotación para rotar la placa de superficie. Además, también se utilizan correas y poleas de transmisión, así como reductores para accionar las escobillas.
Puntos de reclutamiento
Alta capacidad de transmisión
compacto
Pequeña irregularidad de rotación
Mecanismo de inversión del equipo de inspección
Para el mecanismo de inversión de la sonda se utiliza Troi Drive.
Además, en las partes móviles de la etapa de obleas también se utilizan Portacables (CABLEVEYOR), correas y poleas.
Puntos de reclutamiento
Alta resistencia, ligero y compacto.
Autoblocante y silencioso
Reductor
Troi Drive
reductor de tornillo sin fin de alto rendimiento
Alta capacidad de transmisión, delgado y compacto.
Incluso con un área de contacto con el suelo limitada, ofrece una mayor capacidad de transmisión que reductor de tornillo sin fin de uso general fabricados por otras empresas.
baja vibración
Los engranajes sin fin, que transmiten la fuerza a través del contacto deslizante, tienen vibraciones más bajas que otros reductores que utilizan engranajes cónicos helicoidales, que transmiten la fuerza a través del contacto rodante, mejorando el acabado del producto final.
Pequeño error de transmisión angular (rotación desigual)
El error de transmisión angular es de aproximadamente 1/10 en comparación con los mecanismos de reducción como los biseles helicoidales, lo que da como resultado una rotación más suave y mejores acabados para el producto final.
Motorreductor pequeño
Este es un reductor compacto, fácil de usar y altamente eficiente. Podemos proponer el motor, la disposición de ejes (eje paralelo/ eje en ángulo recto) y la forma del eje de salida (sólido/hueco) óptimos para su aplicación.
Serie Zip Chain
actuador de cadena Zip
Tallas medianas y grandes
POINT
Empuje MÁXIMO 38,2 kN
Carrera MÁXIMA 5000 mm
Velocidad MÁXIMA 1000 mm/seg
Se puede instalar incluso en espacios pequeños,
actuador lineal versátiles
Este es un actuador lineal original de Tsubaki que combina operación de alta velocidad y alta frecuencia con excelente precisión de frenado, capacidad de control y compacidad.
Correas síncronas
Ideal para aplicaciones que requieren un posicionamiento preciso y alta sincronización.
correas síncronas Tsubaki son capaces de funcionar a alta frecuencia y alta velocidad y tienen una larga vida útil.
Úselo en combinación con la polea original para aprovechar al máximo las capacidades de alta resistencia y alta tracción de Correa PX.
Motor CC sin escobillas motor hipoide
Este es un motor confiable que combina los beneficios del variador de frecuencia y los servomotores.
El sensor de temperatura incorporado protege el motor contra quemas.
Serie TERUS
reductor de tornillo sin fin El motorreductor también puede combinarse con un motorreductor. Los motorreductores de alta funcionalidad combinan la característica de alta resistencia de los engranajes helicoidales con la característica de alta eficiencia de los motorreductores. Se pueden conseguir equipos compactos y una reducción del número de piezas.
Obtenga más información sobre la serie TERUS
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Apoyo, orientación y protección
¿Tiene alguno de estos problemas con las guías de soporte de cables?
De Portacables (CABLEVEYOR) (incluidos equivalentes)
- Quiere reducir los defectos del producto causados por la adhesión de partículas de desgaste
- ¿Quieres reducir el espacio de instalación?
- ¿Quieres mejorar la protección de cables y tubos?
De cables planos y tubos
- Quiero reducir la desviación de cables y tubos.
- Quiero reducir el salto
CLEANVEYOR y FLATVEYOR resuelven una variedad de problemas.
Moviendo el escenario
Se utiliza FLATVEYOR para sostener y guiar los cables en las partes móviles del escenario.
Dispositivo de reclutamiento
Máquinas de exposición, bonders, montadoras, etc.
Puntos de reclutamiento
Baja generación de polvo, baja vibración y prevención de rotura de cables.
Transferencia de casetes de obleas
Se utiliza para soportar y guiar cables durante la transferencia entre tanques de productos químicos.
Los elementos de soporte permiten longitud de recorrido largo.
Dispositivo de reclutamiento
Equipos de limpieza
Puntos de reclutamiento
Baja generación de polvo, longitud de recorrido largo
CLEANVEYOR
Limpieza ISO Clase 1
Este es el dispositivo de soporte y guía de cables y mangueras de Tsubaki con menor emisión de polvo.
Alcanza una limpieza ISO Clase 1 y es ideal para su uso en salas blancas.
Tiene un nivel de ruido inferior a 36 dB(A) y una larga vida útil con más de 10 millones de ciclos de flexión*. *Resultados de pruebas internas.
Baja generación de polvo
El almacenamiento de cables, tubos y elementos de soporte dentro del módulo evita que los residuos de desgaste se dispersen.
También es eficaz para prevenir el riesgo de rotura de cables debido al deslizamiento o interferencia entre cables.
Trabajo de instalación reducido
Se incluyen cables y tubos dedicados y se adjuntan abrazaderas para una instalación suave en el equipo.
Soporte de estructura multietapa
Se pueden realizar hasta 6 pilas. *Resultados de pruebas internas.
Más detalles sobre CLEANVEYOR
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FLATVEYOR
Limpieza ISO Clase 2
Este es el exclusivo sistema de cable plano independiente de Tsubaki.
Incorpora un soporte con un mecanismo único que permite longitud de recorrido largo. Se suministra con cables y tubos específicos según las condiciones de uso.
Baja generación de polvo
Esto contribuye a mejorar el rendimiento del producto.
Longitud de recorrido largo
Puede soportar una carrera máxima de 2,8 m.
(Especificación ZP: máximo 1,8 m)
Cable plano (otro fabricante)
FLATVEYOR (fabricado por Tsubaki)
Medidas para prevenir la rotura de cables
Se pueden realizar hasta 6 pilas. *Resultados de pruebas internas.
Supresión de rebote
Evita interferencias entre el dispositivo y los cables.
Cable plano (otro fabricante)
FLATVEYOR (fabricado por Tsubaki)
Más información sobre FLATVEYOR
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FLATVEYOR tipo ZP
Manejo mejorado
- Los cables y tubos se insertan y retiran fácilmente, y es posible realizar reemplazos parciales. Se utiliza el exclusivo tubo de apertura y cierre de Tsubaki, flexible, duradero y con buenas propiedades de deslizamiento.
- Logra una limpieza equivalente a la ISO Clase 2 (según los resultados de nuestras pruebas internas).
Portacables (CABLEVEYOR) Serie de plástico
Especificaciones de PVDF
Para aplicaciones de vacío
El uso de fluororesina especial es eficaz para prevenir la desgasificación en entornos de vacío.
También tiene una excelente resistencia química.
Más información sobre la especificación PVDF de la Serie de plástico Portacables (CABLEVEYOR) Plastic
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