La prevención del polvo es un aspecto fundamental en los equipos de fabricación de semiconductores. Tradicionalmente, se utilizaba el tipo TKR, el tipo abierto más limpio de Serie de plástico, pero, dado que opera por encima de la oblea, se requería una mayor reducción de la generación de polvo.

当初、クリーン度の向上が可能なことに加えTKR形と同じようにケーブル・チューブの挿入がユーザー側で可能なフラットベヤZP仕様の採用を検討しましたが、当該装置の量産の計画もあったことからフラットベヤの採用としました。ケーブル・チューブが溶着された状態で一式納入されるモデルのため、そのまま装置に取り付けるだけとなりクリーン度の向上だけでなく装置への組み付け工数が大幅に削減できました。