半導体製造装置の処理室内で従来から使用していたフラットケーブルでは、装置の高速化・長ストローク化により跳ね上がる事象が発生することで、フラットケーブルが装置内の天井とぶつかるリスクがありました。これが発塵や断線に繋がるおそれがあるため、安定した動作を実現できるケーブルシステムが必要でした。またウエハの処理には微細な発塵でも歩留まり悪化の恐れがあるため、最高クラスのクリーンクラス実現が求められていました。

採用したクリーンベヤは内蔵するサポートメンバが走行時のケーブル挙動を安定化するガイドの役割を果たすため、高速・長ストロークでもスムーズで静粛な動作が実現可能。e-PTFE製ポッドへのケーブル内包と自立によりつばきのケーブルシステムで最もクリーンなクリーンベヤは、処理室内の清浄度を維持することもでき、ウエハの上部で使用する用途においても安心して使用することができています。